高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究

氮化硅陶瓷具有优异的力学性能和高的理论热导率,是大功率电力电子器件理想的散热基片材料.但是,高导热氮化硅陶瓷对原料要求高,且制备条件苛刻,因此制备成本很高.本研究提出了一种低成本的制备方案.以TiO2-MgO作为烧结助剂,以高纯硅粉作为起始原料